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洁净室性能测试的主要仪器和仪表

时间: 2017-12-07
  

1、风压测试仪器:主要用于测定洁净室之间和洁净与非洁净区之间微压差,也可利用压差法测量风速,计算风量。

 (1)液体压力计:液体压力计具有使用方便、价格低廉、精确度较高、制造安装方便等优点,但有测量范围受限制、玻璃管易碎等缺点。 常用的工作液体有:酒精、水、水银等,在洁净室测量中主要是酒精和水。 液体压力计主要有:U型管压力计、斜管压力计、补偿式压力计。

 (2)弹簧压力计:弹簧压力计是根据弹簧元件在所测压力作用下发生变形,其变形量与所测压力成函数关系这一原理制成的,其优点是构造简单、便于携带、安装方便、价格低廉。常用的弹簧压力计主要有:弹簧管压力计、膜片管压力计和膜核压力计。

 (3)电学压力计: 电学压力计是利用压电原理或高压下电阻变化等电学方法来测定压力的压力计,适用于测量变化极快、数值很高或近乎绝对真空时的压力。


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